灰尘传感器可监测集成电路生产过程中接触到的污染物

随着科学技术的发展，许多工业产品的生产加工对生产环境的无尘车间工程中含尘浓度提出高的要求，这就需要其生产环境中具有一定的空气洁净等级和控制生产过程所需各类相关物质的供应质量。例如，在胶片生产中，胶片若受到了尘埃的污染，将会发生乳剂氧化，活性减弱，pH值变化等，从而影响胶片的感光性能。下面了解一下灰尘传感器用于半导体集成电路生产洁净室中的解决方案。

集成电路制造业是一个在超净化环境中，使用超纯材料进行超微细加工的产业，半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求，为得到高纯度的硅材料，原料和中间媒介的高纯度和高精度恒温恒湿工程生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。

集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关，而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此，集成电路的高速发展，不仅对空气中控制粒子的尺寸有高的要求，而且也需进一步控制粒子数；同时，对于超大规模集成电路生产环境中无尘车间工程的化学污染控制也有相关的要求。

集成电路生产过程中可能接触到的主要污染物

集成电路生产中可能接触到的主要污染有：微粒杂质、无机离子、有机物质、微生物以及气体杂质等。从广义上说，不适宜的温度、湿度、照度、超过限度的静电、电磁噪声、空气噪声以及微振动等，也是特殊的污染物。其中，微粒杂质、无机离子、有机物质、微生物以及气体杂质的数量超过一定限度时，就会是集成电路产品发生表面擦伤、图形断线、短路、针孔、剥离等现象，导致电路漏电、电特性异常。轻者影响电路性能和使用寿命，严重时可导致电路报废。

鉴于这种情况，就需要使用灰尘传感器来对半导体集成电路生产车间的环境进行监测，保证产品生产环境达到洁净标准。勒夫迈推荐使用激光灰尘传感器/粉尘传感器LD11，LD11是一款基于激光米氏MIE散射理论的高精度灰尘传感器，可连续采集并计算单位体积内空气中不同粒径的悬浮颗粒物个数，即颗粒物浓度分布，进而换算成为质量浓度，并以通用数字接口形式输出，提供及时准确的浓度数据。